一种结电容测试装置 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种结电容测试装置
专利类别:	实用新型
申请号:	201220591686.2
申请日期:	2012-11-09
专利号:	ZL 2012 2 0591686.2
第一发明人:	佘超群,朱阳军,陆江,成星,高振鹏
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:	一室一组

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