提高后栅工程金属插塞化学机械平坦化工艺均匀性的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	提高后栅工程金属插塞化学机械平坦化工艺均匀性的方法
专利类别:	发明
申请号:	PCT/CN2011/000692
申请日期:	2011-04-20
专利号:	US8409986
第一发明人:	杨涛,赵超,李俊峰
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:	十室