一种新型匀气结构 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种新型匀气结构
专利类别:	发明
申请号:	201110387800.X
申请日期:	2011-11-29
专利号:	201110387800.X
第一发明人:	夏洋,李勇滔,席峰,李楠,张庆钊
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:	八室一组

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