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专利名称: 一种金属栅极/高K栅介质叠层结构的制备和成形方法
专利类别: 发明
申请号: 201010145261.4
申请日期: 2010-04-09
专利号: ZL201010145261.4
第一发明人: 徐秋霞,李永亮
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: 十室
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