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专利名称: 复合光子筛投影式光刻系统
专利类别: 发明
申请号: 201110234020.1
申请日期: 2011-08-16
专利号: 201110234020.1
第一发明人: 谢常青,高南,华一磊,朱效立,李海亮,史丽娜,李冬梅,刘明
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: 三室一组
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