一种离子注入剂量检测控制方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种离子注入剂量检测控制方法
专利类别:	发明
申请号:	201010255031.3
申请日期:	2010-08-17
专利号:	201010255031.3
第一发明人:	汪明刚,刘杰,夏洋,李超波,陈瑶,赵丽莉,李勇滔
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:	八室一组

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