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专利名称: 多功能离子束溅射与刻蚀及原位物性分析系统
专利类别: 发明
申请号: 201010574358.7
申请日期: 2010-12-06
专利号: 201010574358.7
第一发明人: 龙世兵
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: 三室
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