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专利名称: 一种基于湿法腐蚀制备位相型衍射光学元件的方法
专利类别: 发明
申请号: 201110061444.2
申请日期: 2011-03-15
专利号: 201110061444.2
第一发明人: 李海亮,谢常青,牛洁斌,朱效立,史丽娜
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: 三室一组
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