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专利名称: 等离子体刻蚀工艺腔室内表面的改性处理方法
专利类别: 发明
申请号: 201010209823.7
申请日期: 2010-06-25
专利号: 201010209823.7
第一发明人: 刘邦武,王文东,夏洋,李超波
其它发明人:
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国外申请方式:
专利授权日期:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: 八室一组
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