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专利名称: 一种制作复合半导体薄膜材料的方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201010247619.4
申请日期: 2010-08-06
专利号: 201010247619.4
第一发明人: 梁圣法
其它发明人: 李冬梅;侯成诚;刘明;周文;汪幸;闫学锋;谢常青;霍宗亮
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201010247619.4
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所
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