专利名称: | 一种通过建立查找表快速提取含有冗余金属的互连结构的电容的方法 |
专利类别: | 发明专利 |
申请号: | 201010589347.6 |
申请日期: | 2010-12-15 |
专利号: | ZL201010589347.6 |
第一发明人: | 阮文彪,陈岚 |
其它发明人: | 马天宇;陈岚;阮文彪;李志刚;叶甜春 |
国外申请日期: | |
国外申请方式: | |
专利授权日期: | |
缴费情况: | |
实施情况: | 授权 |
专利证书号: | ZL201010589347.6 |
专利摘要: | |
其它备注: | 中国科学院微电子研究所 |
科研产出