栅极堆叠的制造方法和半导体器件 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	栅极堆叠的制造方法和半导体器件
专利类别:	发明专利
申请号:	201010197080.6
申请日期:	2010-06-03
专利号:	ZL201010197080.6
第一发明人:	钟汇才
其它发明人:	钟汇才;骆志炯;梁擎擎
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	ZL201010197080.6
专利摘要:
其它备注:	中国科学院微电子研究所

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