专利名称: 一种半导体器件及其形成方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201010257006.9
申请日期: 2010-08-18
专利号: ZL201010257006.9
第一发明人: 赵超
其它发明人: 赵超;王文武;朱慧珑
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201010257006.9
其它备注: 中国科学院微电子研究所