一种提高电子束曝光效率的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种提高电子束曝光效率的方法
专利类别:	发明专利
申请号:	201010541030.5
申请日期:	2010-11-10
专利号:	ZL201010541030.5
第一发明人:	徐秋霞
其它发明人:	徐秋霞;许高博
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	ZL201010541030.5
专利摘要:
其它备注:	中国科学院微电子研究所

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