专利名称: 栅极堆叠的制造方法和半导体器件
专利类别: 国际专利
申请号: PCT/CN2010/001437
申请日期: 2010-09-19
专利号: US8716095
第一发明人: 王文武
其它发明人: 钟汇才;骆志炯;梁擎擎
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: US8716095
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所