专利名称: 半导体结构及其制造方法
专利类别: 国际专利
申请号: PCT/CN2010/001446
申请日期: 2010-09-20
专利号: US8633522
第一发明人: 朱慧珑
其它发明人: 朱慧珑;尹海洲;骆志炯;钟汇才
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: US8633522
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所