专利名称: 半导体器件及其形成方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201010612577.X
申请日期: 2010-12-29
专利号: ZL201010612577.X
第一发明人: 尹海洲
其它发明人: 尹海洲;钟汇才;朱慧珑;骆志炯
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201010612577.X
其它备注: 中国科学院微电子研究所