一种加速CMP仿真的方法和装置 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种加速CMP仿真的方法和装置
专利类别:	发明专利
申请号:	201110379986.4
申请日期:	2011-11-25
专利号:	ZL201110379986.4
第一发明人:	阮文彪
其它发明人:	陈岚;阮文彪;吴玉平
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	ZL201110379986.4
专利摘要:
其它备注:	中国科学院微电子研究所

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