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专利名称: 一种安全性高的原子层沉积设备
专利类别: 发明专利
申请号: 201110300052.7
申请日期: 2011-09-29
专利号: ZL 201110300052.7
第一发明人: 王燕
其它发明人: 王燕;李勇滔;夏洋;赵章琰;石莎莉
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: ZL 201110300052.7
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所
中国科学院微电子研究所版权所有 邮编：100029
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