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专利名称: 优化版图栅长的方法及其装置
专利类别: 发明专利
申请号: 201210062173.7
申请日期: 2012-03-09
专利号: ZL201210062173.7
第一发明人: 吴玉平
其它发明人: 吴玉平;刘磊;陈天佐;吕志强
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201210062173.7
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所
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