专利名称: 一种提取互连线寄生参数的方法和装置
专利类别: 发明专利
申请号: 201110456859.X
申请日期: 2011-12-30
专利号: ZL201110456859.X
第一发明人: 马天宇
其它发明人: 马天宇;陈岚;杨飞;方晶晶
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201110456859.X
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所