专利名称: | 一种阻挡层及其制备方法 |
专利类别: | 发明专利 |
申请号: | 201110033156.6 |
申请日期: | 2011-01-31 |
专利号: | ZL 201110033156.6 |
第一发明人: | 王文东 |
其它发明人: | 王文东 夏洋 李超波 李勇滔 刘邦武 刘训春 |
国外申请日期: | |
国外申请方式: | |
专利授权日期: | |
缴费情况: | |
实施情况: | 授权 |
专利证书号: | ZL 201110033156.6 |
专利摘要: | |
其它备注: | 北京泰龙电子技术有限公司 ,中国科学院微电子研究所 |
科研产出