专利名称: 可集成的非晶态金属氧化物半导体气体传感器
专利类别: 发明专利
申请号: 201110117658.7
申请日期: 2011-05-09
专利号: ZL201110117658.7
第一发明人: 范正萍
其它发明人: 殷华湘;陈大鹏
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201110117658.7
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所