复合光子筛投影式光刻系统 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	复合光子筛投影式光刻系统
专利类别:	发明专利
申请号:	PCT/CN2011/078453
申请日期:	2011-08-16
专利号:	13/375,102
第一发明人:	高南
其它发明人:	谢常青;高南;华一磊;朱效立;李海亮;史丽娜;李冬梅;刘明
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	13/375,102
专利摘要:
其它备注:	中国科学院微电子研究所

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