专利名称: 一种新型碳基材料和金属接触的制作方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210075810.4
申请日期: 2012-03-21
专利号: 201210075810.4
第一发明人: 陈娇
其它发明人: 金智;陈娇;麻芃;王显泰;潘洪亮;彭松昂;郭建楠
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201210075810.4
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所