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专利名称: 一种微波激发的超临界干燥装置及方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210438693.3
申请日期: 2012-11-06
专利号: ZL201210438693.3
第一发明人: 于明岩
其它发明人: 于明岩;景玉鹏;郭晓龙;赵士瑞;徐昕伟
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201210438693.3
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所
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