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专利名称: 一种应用于CMP工艺的护圈装置
专利类别: 实用新型
申请号: 201320865754.4
申请日期: 2013-12-25
专利号: ZL201320865754.4
第一发明人: 刘宏伟
其它发明人: 刘宏伟;陈岚
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201320865754.4
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所
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