专利名称: | 一种用于单粒子激光脉冲试验功率VDMOS器件封装方法 |
专利类别: | 发明专利 |
申请号: | 201320739599.1 |
申请日期: | 2013-11-20 |
专利号: | 201320739599.1 |
第一发明人: | 高博 |
其它发明人: | 高博;丁凯凯;刘刚;王立新;韩郑生;张彦飞;孙博韬 |
国外申请日期: | |
国外申请方式: | |
专利授权日期: | |
缴费情况: | |
实施情况: | 授权 |
专利证书号: | 201320739599.1 |
专利摘要: | |
其它备注: | 中国科学院微电子研究所 |
科研产出