专利名称: 一种用于单粒子激光脉冲试验功率VDMOS器件封装方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201320739599.1
申请日期: 2013-11-20
专利号: 201320739599.1
第一发明人: 高博
其它发明人: 高博;丁凯凯;刘刚;王立新;韩郑生;张彦飞;孙博韬
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201320739599.1
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所