一种夹层式压力传感器封装结构及工艺方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种夹层式压力传感器封装结构及工艺方法
专利类别:	实用新型
申请号:	201320592233.6
申请日期:	2013-09-24
专利号:	201320592233.6
第一发明人:	周云燕
其它发明人:	周云燕;宋见;王启东;曹立强
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	201320592233.6
专利摘要:
其它备注:	中国科学院微电子研究所

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