专利名称: 一种薄膜封装系统
专利类别: 实用新型
申请号: 201320892034.7
申请日期: 2013-12-31
专利号: ZL201320892034.7
第一发明人: 刘杰
其它发明人: 刘杰;刘键;冷兴龙;屈芙蓉;李超波;夏洋
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201320892034.7
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所