一种PECVD系统 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种PECVD系统
专利类别:	实用新型
申请号:	201320892004.6
申请日期:	2013-12-31
专利号:	ZL201320892004.6
第一发明人:	刘杰
其它发明人:	刘杰;刘键;冷兴龙;屈芙蓉;李超波;夏洋
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	ZL201320892004.6
专利摘要:
其它备注:	中国科学院微电子研究所

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