| 专利名称: | 层间介质层、具有该介质层的半导体器件及制造方法 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201010215116.9 |
| 申请日期: | 2010-06-22 |
| 专利号: | 201010215116.9 |
| 第一发明人: | 钟汇才;梁擎擎 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利名称: | 层间介质层、具有该介质层的半导体器件及制造方法 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201010215116.9 |
| 申请日期: | 2010-06-22 |
| 专利号: | 201010215116.9 |
| 第一发明人: | 钟汇才;梁擎擎 |
| 实施情况: | 授权 |
科研产出