包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统
专利类别:	发明专利
申请号:	201110306405.4
申请日期:	2011-10-11
专利号:	ZL201110306405.4
第一发明人:	刘涛;李国光;赵江艳;艾迪格.基尼欧;马铁中;夏洋;严晓浪
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: