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专利名称: 基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备
专利类别: 发明专利
申请号: 201110309981.4
申请日期: 2011-10-13
专利号: ZL 201110309981.4
第一发明人: 王燕;李勇滔;夏洋;赵章琰;石莎莉
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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