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专利名称: 一种半导体设备中黑色Y2O3陶瓷涂层制造方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201110396482.3
申请日期: 2011-12-02
专利号: ZL 201110396482.3
第一发明人: 邵花;王文东;刘邦武;夏洋;李勇滔
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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