当前位置 首页 科研工作 科研产出 专利
专利名称: 一种PIII工艺流程控制和在线剂量、均匀性检测装置
专利类别: 发明专利
申请号: 201110421859.6
申请日期: 2011-12-15
专利号: ZL 201110421859.6
第一发明人: 汪明刚;李超波;屈芙蓉;夏洋
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
中国科学院微电子研究所版权所有 邮编：100029
单位地址：北京市朝阳区北土城西路3号，电子邮件：webadmin@ime.ac.cn
京公网安备110402500036号，京ICP备05002781号-1