锗衬底上制备金属-氧化物-半导体场效应晶体管方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	锗衬底上制备金属-氧化物-半导体场效应晶体管方法
专利类别:	发明专利
申请号:	201110090483.5
申请日期:	2011-04-12
专利号:	201110090483.5
第一发明人:	胡爱斌;许高博;徐秋霞
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:

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