| 专利名称: | 一种气体分配器及原子层沉积设备 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201210001944.1 |
| 申请日期: | 2012-01-05 |
| 专利号: | ZL 201210001944.1 |
| 第一发明人: | 张艳清;夏洋;李超波;万军;吕树玲;陈波;石莎莉;李楠 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利名称: | 一种气体分配器及原子层沉积设备 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201210001944.1 |
| 申请日期: | 2012-01-05 |
| 专利号: | ZL 201210001944.1 |
| 第一发明人: | 张艳清;夏洋;李超波;万军;吕树玲;陈波;石莎莉;李楠 |
| 实施情况: | 授权 |
科研产出