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专利名称: 一种用于原子层沉积设备的气体分配器
专利类别: 发明专利
申请号: 201210002317.X
申请日期: 2012-01-05
专利号: ZL 201210002317.X
第一发明人: 张艳清;夏洋;李超波;万军;吕树玲;陈波;石莎莉;李楠
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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