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专利名称: 极紫外光刻掩模缺陷检测系统
专利类别: 发明专利
申请号: 201210104156.5
申请日期: 2012-04-10
专利号: 201210104156.5
第一发明人: 李海亮;谢常青;刘明;李冬梅;牛洁斌;史丽娜;朱效立
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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