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专利名称: 一种EUV光源污染物收集装置
专利类别: 发明专利
申请号: 201210479101.2
申请日期: 2012-11-22
专利号: ZL 201210479101.2
第一发明人: 宗明成;孙裕文;李世光;黄有为
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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