专利名称: 一种凹槽式的硅纳米晶存储器及其制作方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201310224594.X
申请日期: 2013-06-06
专利号: 201310224594.X
第一发明人: 王永;刘明;霍宗亮;刘璟;张满红;张康玮
实施情况: 授权