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专利名称: 一种改善用于Al2O3介质层上的光刻工艺的方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201310681200.3
申请日期: 2013-12-12
专利号: 201310681200.3
第一发明人: 张凯平;刘明;谢常青;龙世兵;胡媛;陆丛研;刘宇;赵盛杰
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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