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专利名称: 一种FinFet器件源漏外延设备
专利类别: 实用新型
申请号: 201520039123.6
申请日期: 2015-01-20
专利号: 201520039123.6
第一发明人: 王桂磊;崔虎山;殷华湘;李俊峰;赵超
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号:
专利摘要:
其它备注:
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