| 专利名称: | 一种FinFet器件源漏外延设备 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | 201520039123.6 |
| 申请日期: | 2015-01-20 |
| 专利号: | 201520039123.6 |
| 第一发明人: | 王桂磊;崔虎山;殷华湘;李俊峰;赵超 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利名称: | 一种FinFet器件源漏外延设备 |
| 专利类别: | 实用新型 |
| 申请号: | 201520039123.6 |
| 申请日期: | 2015-01-20 |
| 专利号: | 201520039123.6 |
| 第一发明人: | 王桂磊;崔虎山;殷华湘;李俊峰;赵超 |
| 实施情况: | 授权 |
科研产出