一种利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面薄膜的方法及系统 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面薄膜的方法及系统
专利类别:	发明专利
申请号:	201210281822.2
申请日期:	2012-08-09
专利号:	201210281822.2
第一发明人:	刘涛;王林梓;李国光;夏洋;Edgar Genio;马铁中
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	201210281822.2
专利摘要:
其它备注:	八室一组