基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	基于柔性衬底的气敏传感器及其制备方法
专利类别:	发明专利
申请号:	201210036092.X
申请日期:	2012-02-17
专利号:	201210036092.X
第一发明人:	梁圣法;李冬梅;刘明;谢常青;陈鑫;詹爽
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	201210036092.X
专利摘要:
其它备注:	三室一组

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