| 专利名称: | 半导体腔室用压片装置 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110408402.1 |
| 申请日期: | 2011-12-09 |
| 专利号: | 201110408402.1 |
| 第一发明人: | 李超波;屈芙蓉;陈瑶;刘传钦;夏洋 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利证书号: | 201110408402.1 |
| 其它备注: | 八室一组 |
| 专利名称: | 半导体腔室用压片装置 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110408402.1 |
| 申请日期: | 2011-12-09 |
| 专利号: | 201110408402.1 |
| 第一发明人: | 李超波;屈芙蓉;陈瑶;刘传钦;夏洋 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利证书号: | 201110408402.1 |
| 其它备注: | 八室一组 |
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