模块化离子注入机控制系统 --中国科学院微电子研究所

科研产出

当前位置首页科研工作科研产出专利

专利名称:	模块化离子注入机控制系统
专利类别:	发明专利
申请号:	201110391302.2
申请日期:	2011-11-30
专利号:	201110391302.2
第一发明人:	王蒙李勇滔赵章琰李超波夏洋
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	201110391302.2
专利摘要:
其它备注:	八室一组

中国科学院微电子研究所版权所有邮编：100029
单位地址：北京市朝阳区北土城西路3号，电子邮件：webadmin@ime.ac.cn
京公网安备110402500036号，京ICP备05002781号-1