专利名称: 受控横向刻蚀方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201110281364.8
申请日期: 2011-09-21
专利号: 201110281364.8
第一发明人: 朱慧珑;骆志炯;尹海洲
实施情况: 授权
专利证书号: 201110281364.8
其它备注: 十室