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专利名称: 亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法
专利类别: 发明专利
申请号: PCT/CN2011/079850
申请日期: 2011-09-20
专利号: 9,442,230
第一发明人: 李海亮;谢常青;刘明;李冬梅;史丽娜;朱效立
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 9,442,230
专利摘要:
其它备注: 微电子重点实验室
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